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CGS-4TPs智能气敏分析系统

CGS-4TPs智能气敏分析系统（电阻型）由数据采集系统、控温系统、4对探针调节系统、真空系统、微型气室及测试软件等部分构成。CGS-4TPs智能气敏分析系统在微型气室中利用多点连接实现多样品同步测量，采用外部控温的使得气敏测试摆脱了对器件的依赖，完全保持材料的形貌和结构。同时，分析系统使用4对探针连接被测材料，能够测量材料在不同的位置、方向及角度上的气敏特性。分析系统支持动态配气系统及高真空抽气，从而有利于表征出材料在不同的浓度（ppb甚至ppt量级）及气压（特别是氧压）下的气敏特性。
CGS-4TPs智能气敏分析系统可用于对各种纳米材料、厚膜/薄膜材料、孔材料、粉体/粒子材料、体块材料、半导体、碳管、有机物等进行同时多样品的气敏分析。测量过程仅需将材料放置在分析系统的加热区域，或者将材料沉积在带电极的衬底（如硅衬底或者陶瓷衬底）并放置于分析系统的加热区域即可。测量过程不会对材料的形貌和结构造成破坏，能够测量出材料最真实的气敏特性。

一、产品特色
01）8支探针可同时分析4个样品，利用标定选择性和一致性，可实现单样品不同区域测量
02）无需制作传感器件，直接测量材料的气敏特性
03）测量范围大，可测量各种电阻率范围的气敏材料
04）控温范围大精度高，有利于准确寻找最佳工作条件
05）水冷系统冷却，杜绝加热区域对其它组成的影响
06）三维调节探针，实现μm量级的位置调节
07）支持动态配气与不同气压下的气敏测试
08）防漏注气设计，杜绝注气过程中的泄露，提高配气精度
09）气室温度湿度实时监控，提高实验精确度和重复性
10）软件实现电阻值、灵敏度（Ra/Rg、Rg/Ra、|Ra-Rg|/Ra）、最大值、最小值等气敏特性的实时采集与现实，并支持对数坐标显示，准确体现器件在多个数量级之间的信号变化

二、技术指标
01）电源：AC 220 V，最大功率 3520 W，瞬时最大功率可达16 A，一般要求客户的电源在20 A以上)
02）控温范围：室温~500 °C，调节精度1 °C，加温速度约5 °C/s，降温速度约3 °C/s，水冷
03）测量通道数：4对（8根）探针，最多同时测量4个样品
04）测量范围：1 Ω~4 GΩ，全自动测量无需换挡
05）采集间隔：>0.05 s，连续可调
06）采集时限：>1 s，连续可调
07）探针调节：水平旋转30 °C；前后行程1.5 cm，垂直行程0.5 cm（可更换探针），精度10 μm
08）气箱温度、湿度监控
09）注气口2个，注液口1个，液体蒸发器控温范围室温~250 °C
10）通讯接口：USB
11）控制方式：8寸触摸屏
12）配套上位机分析软件，提供软件技术支持
13）真空指标：极限真空度：8 × 10-1 Pa，配有快卸可支持一定高压；极限真空抽速：1 × 105 Pa-8 × 10-1Pa（7 min）；真空保持度：8 × 10-1 Pa~20 Pa（50 min）
14）主机外形大体尺寸：600 mm × 400 mm × 180 mm；气箱底座外形大体尺寸：750 mm × 600 mm × 1100 mm；气室尺寸：200 mm × 235 mm × 200 mm × 44 mm；气箱容积：1.8 L
15）灵敏度温度分析、响应恢复分析、灵敏度浓度分析、选择性分析、稳定性分析等

三、注意事项
01）工作中请确保水冷系统中水流正常
02）加热区域可能高温，请勿直接接触
03）真空室内严禁放入放气量大的物质
04）建议配搭动态配气系统以配置低浓度气氛
05）建议使用银钯电极衬底测量材料气敏特性

四、系统照片