CGS-MT 光电气综合测试平台
一、产品概述
CGS-MT光电气综合测试平台适用于毫米级别材料或器件（传感器、探测器、晶体管等）的原位测试及综合特性分析。平台通过一体化的电学、探针、微腔体、静态配气设计，可提供精准的电学检测、灵活的探针连接、精准的温度调节、便捷的气氛控制；集成双源表测试系统，支持两线或四线测试，支持双通道测试；平台包含的原位高温台可与拉曼光谱仪或显微镜联用，在电学测试的同时进行光谱或显微的原位分析；平台的微小腔体结构特别适合连接湿度可控的气液配气系统，在实现腔室内的气氛浓度及湿度的快速更替与平衡的同时，用于气敏、湿敏等性能的在线检测；平台支持搭配LED光源或者外接光路，进行光敏、光电、光敏气敏等相关研究；平台支持连接真空泵，用于真空或不同气压下的性能测试。
二、产品特色
01）定制化的传感器连接方式和数量
02）微型气室，有利于响应恢复速度的准确测量
03）配置双源表系统，支持双通道测试
04）便于观察样品的观察窗，材质可选配，支持与光谱仪或显微镜联用
05）测试系统可设置温度、湿度等参数，可记录环境信息（温度、湿度、压力等，可定制）
06）支持气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定
07）平台控温，敏感材料或元件无需制作加热电极
08）高屏蔽性能，可连接各种分析系统及源表，支持传感器、晶体管、探测器等测试
三、主要技术指标
1、电学分析系统
01）双源表配置，支持双通道测试，四线或两线测量
02）电流范围：100 pA~200 mA；电阻测量范围：1Ω~10GΩ；电压范围：±200 mV~±10 V
03）电学特性转换为传感器信号，气体传感器测量和标定，温度传感器测量和标定
04）测试模式： I-t，R-t，V-t，I-V，V-I等
05）SMA接口，SMA转BNC测试线，控温的同时可进行电学信号测试
06）试用范围：材料研究，半导体器件分析（传感器、晶体管、二极管、功率半导体、LED等），电子电路测量等应用
2、原位池主要参数
01）可用于连接电学测量设备和拉曼光谱或者显微镜等设备以进行电学信号与光谱表征的原位同步测量
02）控温范围：室温~500℃，含水冷快速接头，上下一体水冷
03）两路反应气接口和一路真空接口，可通过卡套、快插与配气系统及真空泵相连接
04）探针座及夹具：4套
05）BNC接头：4个；支持双通道测试
06）腔室体积：约100mL
07）石英窗口，直径约30mm
08）腔室体积：约150mm*150mm*40mm
3、静态配气模块
01）体积约1L，与小腔体配合使用，支持静态配气
02）配置液体蒸发器，温度：室温~250oC
03）内置风扇
4、LED光激发模块
01）配置准直LED光源，波长365-370nm，可选配波长440-450nm、520-530nm、660nm等；其他波长可定制
02）配置LED驱动器支持最大驱动电流1200mA
03）设计与光电气综合测试平台联用的支架
5、可扩展功能
01）与光谱仪（如红外、拉曼、紫外），将光谱分析与电学测试结合
02）与显微镜联用，将显微与电学测试结合
03）腔室外定制光路，定制光源的同步调控
04）与真空泵联用，进行低压测试
05）与湿度控制的配气系统联用，用于腔室气氛和湿度控制；选配环境监测腔，支持环境温湿度实时监测
