AES-4TH环境可控探针测试平台
一、产品概述
AES-4TH环境可控探针测试平台特别适用于微米级别材料或器件（传感器、探测器、晶体管等）的应用环境模拟测试及综合特性分析。平台通过一体化电学检测、微探针连接、环境控制、显微镜观测的设计和整体屏蔽、防震及抗干扰处理，可提供低至pA级别的精准电学检测、微米级别的精密探针调节、宽范围高稳定性的环境湿度和热台温度控制。平台搭配真空泵可支持真空条件下的器件特性研究，搭配外置光源或者内置光纤可支持器件的光电、光导、光敏气敏等特性研究，搭配湿度可控的气液配气系统可支持器件的气敏、湿敏、抗湿等特性的研究。此外，平台采用多探针连接和底栅设计，可用于FET器件综合特性分析；平台预留的开放型的接口，可搭配电化学工作或阻抗分析仪，进行多信号测量。
二、产品特色
01）支持传感器、晶体管、探测器、光电、电化学等测试
02）温度、湿度同时可控，提供稳定的测试环境
03）电学测试可与环境信息（温度、湿度、压强等）同步分析
04）多探针模式，针对场效应测试的底栅设计
05）支持四探针测试，特殊要求可定制
06）高屏蔽效能，电学接口可定制，可以连接各种分析系统及源表
07）配置高倍长焦显微镜，清晰查看微米级别材料和器件
08）支持光纤连接与测试
09）支持气体、温度等传感器测量和标定
三、主要技术指标
01）综合性能分析平台，可用于气敏、湿敏、光敏、光敏气敏、FET、电化学等多方向的性能研究，适合各类敏感材料、微纳器件、晶体管、二极管、功率半导体、LED等的性能分析，特别适合MEMS器件、FET器件、传感器芯片等研究
02）石英窗口直径：60 mm
03）控温范围：室温~500℃，实时输出，1℃精度
04）控湿范围：2%~90% RH，±0.8% RH精度（RT标定），±0.1%RH稳定度
05）电流测量：20 pA ~19.5 mA
06）电压范围：±200 mV~±23.8 V
07）电阻测量：1Ω~50GΩ
08）测试模式：Id-Vd，Id-Vg，I-t，R-t等
09）支持两电极、三电极、四电极器件测试
10）特色功能：电学特性转换为传感器信号，气体/温度传感器测量和标定
11）探针调节：前后移动距离（X轴）25 mm（精度约2 mm/360°），左右移动距离（Y轴）10mm（精度约0.5 mm/360°），上下移动距离（Z轴）10 mm（精度约0.5 mm/360°）
12）放大效果：物距 > 10 cm，分辨率约3 μm
13）防震设计：阻尼隔震平台，固有频率9~30 Hz
14）栅极（底）电压实施，用于FET等测试
15）气室极限真空度：8×10-1 Pa
16）配置静态配气模块，支持液体蒸发，液体蒸发温度：室温~250oC
17）可扩展功能1：模拟器件应用环境，探究水分子干扰，低温台可用于研究冷冻、干燥、结露等条件对器件的影响
18）可扩展功能2：连接配气系统，可控制气氛和湿度
19）可扩展功能3：腔室外定制光路，定制光源的同步调控，或者在腔室内引入光路，如光纤等
20）主机外形大体尺寸：1000 mm × 1000 mm × 500 mm；控制测量系统尺寸：400mm*360mm*200mm
四、系统照片
