产品介绍
真空探针台适用于低温电输运、相变、电学、光电、射频与微波、晶圆测试、器件失效分析等研究，为各类材料或器件进行非破坏性测量和封装前测试提供测试平台。已开发了系列环境可控的探针台、液氦/液氮制冷剂型的连续流低温真空探针台和制冷机型的闭循环探针台，为材料和器件进行非破坏性测量和封装前测试提供精密的探针连接、良好的电学屏蔽、精准的温度控制、良好的真空密封。探针臂数可扩展至8个，支持各类直流、射频、高阻抗测试探针和多种光纤探针；提供丰富电学输出接口，支持连接源表、半导体分析仪和阻抗分析仪等电学仪表进行精密电学测量；支持搭配配气系统、光源和磁体等功能模块进行气氛、湿度、光照和磁场等的多元控制。此外，我司提供高低温电学、光学、气氛、湿度、真空、磁场控制的一体化解决方案，支持多场或多通道同步测试软件定制。
产品特点
温度控制：3 K~475 K（液氦），78 K~475 K（液氮）,更高温度可定制
稳定度：±50 mK，分辨率：±10 mK
降温时间：10 K约0.5 h, 5 K约1 h（2"样品台，室温）
真空腔体：真空度：10-5 Torr ~ 10-6 Torr ，更高真空可定制；腔体及防热辐射屏材料：化学镀镍铝
光学窗口：配置1"石英观察窗1个，支持定制匹配各类光谱或者光电等测试的观察窗口，如楔形窗口
电学测试：标配4探针臂（支持扩展为6臂或8臂），支持直流/低频、微波、光学探针臂，支持BNC、SMA、三同轴等电学接口，支持多型低频探针、微波探针、光纤探针等
温度控制
温度范围：4.5 K~ 325 K（500 K可选）
稳定度：±50 mK，分辨率：±10 mK
降温时间：5 K约5 h（2"样品台，高温325 K条件）
真空腔体：真空度：10-5 Torr ~ 10-6 Torr ，更高真空可定制；腔体及防热辐射屏材料：化学镀镍铝
光学窗口：配置1"石英观察窗1个，支持定制匹配各类光谱或者光电等测试的观察窗口，如楔形窗口
电学测试：标配4探针臂（支持扩展为6臂或8臂），支持直流/低频、微波、光学探针臂，支持BNC、SMA、三同轴等电学接口，支持多型低频探针、微波探针、光纤探针等
技术说明
样品座：支持选配同轴、三同轴、绝缘、接地、光学样品座，支持样品座定制
温控台：支持最大样品尺寸为51 mm(2")，支持更大尺寸定制
温度传感：配置硅二极管温度传感器和Pt100温度传感器，分别安装在温控台、防热辐射屏和探针臂
探针调节：X行程：25 mm；Y行程：25 mm；Z行程：10 mm ; 精度：10 μm、5 μm、1 μm可选
系统稳定性：小型化紧凑设计，可安装光学平台上，振动范围±25 nm，探针位置漂移±150 nm（0.5 h）
显微镜：视频显微镜、配置三维位移台、物距＞10 cm，分辨率3 μm，支持选配更高分辨率
分析软件;支持定制专用电学分析软件，支持定制与光谱仪、光源、电学仪表同步控制的分析软件
定制服务：可提供低温、电学、光学、光谱学、磁学等多场综合分析的系统化解决方案
样品座：支持选配同轴、三同轴、绝缘、接地、光学样品座，支持样品座定制
温控台：支持最大样品尺寸为51 mm(2")，支持更大尺寸定制
温度传感：配置硅二极管温度传感器和Pt100温度传感器，分别安装在温控台、防热辐射屏和探针臂
探针调节：X行程：25 mm；Y行程：25 mm；Z行程：10 mm ; 精度：10 μm、5 μm、1 μm可选
系统稳定性：集成了减震台和增重模块，振动范围<1 μm
显微镜：视频显微镜、配置三维位移台、物距＞10 cm，分辨率3 μm，支持选配更高分辨率
分析软件：支持定制开发电学分析软件，支持定制与光谱仪、光源、电学仪表同步控制的分析软件
定制服务：可提供低温、电学、光学、光谱学、磁学等多场综合分析的系统化解决方案
产品图片
① 连续流低温真空探针台STR-400
② 闭循环低温真空探针台GMR-300
③ 配件图片
