MJ-10电极喷镀系统
MJ-10电极喷镀系统，采用压电式按需喷墨打印原理，内含高精度机械控制系统、精准电控探头和高性能压力源，可用于在各种材料、衬底表面直接喷镀金属电极、引脚、沟道及功能材料等，特别适合于功能材料制备、微纳器件制作、芯片测试与修补、器件电路连接等。相较于传统的蒸发/溅射+光刻+刻蚀工艺，或者丝网印刷工艺，MJ-10电极喷镀系统具有操作便捷、精度高、无需掩膜、非接触无损沉积等特点，且沉积的导电浆料（PEDOT、Ag浆、金浆等）或功能材料（碳纳米管、石墨烯等）通常只需低温烘烤，能直接用于制作柔性器件或为可穿戴材料提供可靠的解决方案。
一、产品特色
01）无损非接触式沉积，适用于在硅片、陶瓷、PET等刚性或柔性衬底上喷镀，也适用于在不同材料上喷镀功能涂层或电极材料
02）无需掩模板，电脑绘制图形后直接喷镀
03）精度高，有效替代基于光刻+刻蚀的传统半导体工艺
04）高控制电压，可高达150 V，保证喷射力度，提升可喷射浆料粘度范围
05）适用的浆料体系丰富，能满足各类纳米级稳定体系的导电和非导电浆料及功能材料的需求
06）可扩展性好，更换浆料可以喷镀电极、绝缘层、器件功能材料等
07）易更换部件，用于不同粒子直径和黏度的浆料喷镀
08）耐腐蚀喷镀管路，确保浆料不被污染
二、技术指标
01）X-Y 移动平台：210 mm * 260 mm
02）X-Y 轴精度 / 重复精度：±10 µm / ±5 µm
03）视觉观测模块：水平CCD相机及光源用于液滴观测；竖直CCD相机用于对位识别及打印观测
04）气压控制：精密气压调节阀及精密气压传感器
05）喷头及供液：常温喷头；标准单通道单喷头配置（可选择不同规格的喷头30 μm~100 μm）；喷头及供液系统易清洗，可重复使用
06）复杂打印任务：点阵列，连续线，圆弧，曲折线，三维塔状
07）打印模式：非接触式沉积，按需打印
08）浆料种类：PEDOT、Ag-Pd、Ag、Pt、Au、Ti、碳浆、纤维素、松油醇、碳纳米管、石墨烯以及其他功能材料等
09）衬底种类：各种功能材料表面（厚/薄膜材料、低维材料、块体材料等），无机衬底（硅/二氧化硅/氮化硅、陶瓷、玻璃等）、柔性衬底（PET、PEN、PI等）、刚性衬底（FR-4等）、喷墨打印纸（相纸、打印纸）等
10）间距线宽：理论最低间距约20 µm、理论最低线宽约40 µm，与浆料特性（黏度、浸润性等）和衬底特性（粗糙度、亲水性等）以及二者的相互作用有关
11）喷镀面积：图形面积小于150 mm*60 mm，单视场面积5.7 mm*4.3 mm，分辨率2.2 µm
12）控制原理：交流同步伺服与精密滚珠丝杠
13）设计软件：上位机软件设计图形，可视化窗口观察与测量
14）通讯接口：USB
15）配套上位机分析软件，提供软件技术支持
16）主机外形大体尺寸：1150 mm × 750 mm × 1730 mm
三、浆料说明
01）PEDOT/PSS 导电聚合物水溶液，1.3 wt%，粘度低，导电性好
02）银浆料，活性高，导电性好，颗粒尺寸200~300 nm，粘度较高
03）银纳米颗粒分散液，颗粒尺寸5~10 nm，活性高，导电性好，烧结温度低，特别适用于ITO和玻璃衬底
04）水-醇极性体系银纳米颗粒分散液，活性高，导电性好，烧结温度低，特别适用于PET、陶瓷衬底
四、系统照片
五、典型结果
